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장비 사업부

연구내용

차세대 친환경 융합 SCRUBBER 개발

반도체, 디스플레이, 태양광 등 전자부품 제조공정에서 발생하는 가연성ㆍ부식성ㆍPFC가스 등 각종 유해 유독 가스를 처리하는 친환경 가스정화 장비로서 온실가스 배출을 최소화하는 기술과 ENERGY SAVING 기술을 융합하고 장비 유지보수시간ㆍ비용 최소화 설계기술을 적용하는 SMART EPS(Easy PM System)를 접목시켜 WORLD BEST SCRUBBER를 개발하고 있습니다.

차세대 ENERGY SAVING CHILLER 개발

반도체,디스플레이, 태양과 등 전자제품 제조공정에서 사용되는 메인설비 핵심 부품의 공정온도를 정밀하게 제어함으로써 수율향상과 에너지절감의 두 가지 목표를 동시에 달성할 수 있는 첨단 냉동ㆍ냉각기술을 선도하고 있습니다.