본문 바로가기

장비 사업부

연구성과

유니셈㈜ 특허증

  • 특허 제10-1568804호
  • 특허 제10-1476606호
  • 특허 제10-1335435호
  • 특허 제10-1254306호
  • 특허 제10-1177112호
  • 특허 제10-1254304호
  • 특허 제10-1269415호
  • 특허 제10-1322825호

국책 및 대외협력 수행이력

번호 사업명 과제명 과제기간
번호1 사업명ATC 사업 과제명복합오염물질 제어시스템(Scrubber)의 개발 최적화 과제기간2008.12 - 2011.12
번호2 사업명교육과학기술부 지원 사업 과제명LED-MO-CVD 공정 과정에서 배출되는 NH3 가스 완전 연소 기술 및 T-N 저감기술 과제기간2010.08 - 2011.01
번호3 사업명맞춤형 기술 지원 사업 과제명반도체 공정가스 처리용 Scrubber 배기 단의 악취 원인 규명 및 해결방안 마련 과제기간2011.11 - 2012.03
번호4 사업명한국기계연구원 주요 사업 과제명저전력 플라스마 스크러버 최적화 및 scale up 기술 개발 과제기간2013.05 - 2013.12
번호5 사업명맞춤형 기술 지원 사업 과제명순산소 버너 성능 평가 과제기간2014.04 - 2014.06