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글로벌 친환경 미래 기술, 개발을
선도하는 반도체 장비 Market Leader
유니셈 연구소.
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SCRUBBER
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비입니다.
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CHILLER
반도체, LCD 제조공정에서 열에 의해 가열되는 Main 장비 Chamber 주변부 온도를 안정적으로 조절하는 장비입니다.
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