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장비 사업부

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UN2005A-PL/PLD
다량의 Gas 처리가 가능한 대용량 Burn-Wet Scrubber
  • ModelUN2005A-PL/PLD
  • Gas 처리 방식대용량 BURN WET
  • 처리 용량Max.1500LPM(Single 기준)
  • Dimension(Cabinet)1200(W)X1100(D)X1700(H)_UN2005A-PL / 1500(W)X1300(D)X1850(H)_UN2005A-PLD
UN2005A-PL/PLD
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • 대용량 처리 가능 Capacity (UP TO 1,500 LPM)
  • Dual System : 상호 연동을 통한 설비 Down-Time 감소
  • Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 구조

처리가능 GAS

  • PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
  • 가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
  • 수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC