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장비 사업부

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ECOBRID1000/2000
Nox, THC등 배출 저감 가능한 Nox Free Scrubber
  • ModelECOBRID1000/2000_Nox Free
  • Gas 처리 방식BURN WET
  • 처리 용량Max.500LPM(Single 기준)
  • Dimension(Cabinet)750(W)X850(D)X1800(H)_ECOBRID1000 / 1200(W)X1000(D)X1800(H)_ECOBRID2000
ECOBRID1000/2000
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • 저 NOX Burner : NOX, THC 배출 저감(NOX Free)
  • 가연성 & 수용성 & PFC Gas의 높은 처리 효율
  • Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 구조

처리가능 GAS

  • PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
  • 가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
  • 수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC