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장비 사업부

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NECA4000
디스플레이 공정용 대용량 Burn-Box Type (No Water Consumption)
  • ModelNECA4000
  • Gas 처리 방식BURN WET (Box Type)
  • 처리 용량Max.6000LPM
  • Dimension(Cabinet)1800(W)X1300(D)X1800(H)
NECA4000
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • 대용량 처리가능 Capacity (MAX.6,000LPM)
  • 가연성 & PFC Gas의 높은 처리 효율
  • UT 절감 : CW 미사용
  • Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 구조

처리가능 GAS

  • PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
  • 가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC