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장비 사업부
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> 장비사업부 > SCRUBBER > HEATER TYPE > UN2000A-BW
BURN TYPE
TRITON
UN2005A-PL/PLD
ECOBRID1000/2000
NECA4000
PLASMA TYPE
ATOM1000S
ATOM1000L
HEATER TYPE
UN2000A-BW
MAGMA1000
MAGMA3000
DRY TYPE
ARENS
ETC
W3000
UN2000A-DC
UN2000A-BW
반도체 대응 Heat-Wet Scrubber
Model
UN2000A-BW
Gas 처리 방식
HEAT WET
처리 용량
300LPM
Dimension(Cabinet)
850(W)X900(D)X1750(H)
UN2000A-BW
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비
제품 특징
Dry system : 수분 배출 최소화 적용
고온의 Heater를 사용하여 가연성 및 수용성 GAS 처리
Burn 또는 Plasma Type 대비 낮은 운전 비용
처리가능 GAS
PFC GAS : NF3
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC