본문 바로가기

장비 사업부

home > 장비사업부 > SCRUBBER > HEATER TYPE > MAGMA3000
MAGMA3000
LED, LCD 대응 대용량 Heat-Wet Scrubber
  • ModelMAGMA3000
  • Gas 처리 방식HEAT WET
  • 처리 용량1500LPM
  • Dimension(Cabinet)1280(W)X1300(D)X1850(H)
MAGMA3000
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • 디스플레이 CVD 공정에 적합한 대용량 처리장치
  • 고온의 Heater를 사용하여 가연성 및 수용성 GAS 처리
  • Burn 또는 Plasma Type 대비 낮은 운전 비용

처리가능 GAS

  • PFC GAS : NF3
  • 가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
  • 수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC