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장비 사업부

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RCS2500S
RCS2500S는 기존 Chiller 구동부인 압축기, 펌프를 부하가변 형 방식인 BLDC Type을 적용으로 전력량이 감소 된 Chiller
RCS2500S
반도체, Display, LED 및 태양전지 공정 Main 장비 Chamber 주변부 온도를 안정적으로 조절하여 공정효율을 개선하는 장비

제품 특징

  • 부하가변 형 압축기, 펌프 적용을 통한 전력량 감소. (BLDC Type)
  • Cascade Control을 통한 온도안정화 강화
  • Heater 삭제를 통한 소비 전력량 감소
  • 기구부, 제어부 일체형 Concept
  • 온도, 압력, Leak에 대한 각종 안전장치(Interlock) 적용

SPECIFICATION

ITEM SPECIFICATION(CHANNEL 1)
ITEMCooling Type SPECIFICATION(CHANNEL 1)Refrigerant Type
ITEMTemperature Range SPECIFICATION(CHANNEL 1)-20˚C ~ +80˚C
ITEMTemperature Stability SPECIFICATION(CHANNEL 1)±0.1˚C
ITEMCooling Capacity SPECIFICATION(CHANNEL 1)3,000W(at +20˚C)
ITEMDimensions(mm) SPECIFICATION(CHANNEL 1)380(w)x800(D)x1,400(H)
ITEMCommunication SPECIFICATION(CHANNEL 1)User Option
ITEMFlow Rate SPECIFICATION(CHANNEL 1)20 LPM(at 0.5 Mpa)
ITEMRefrigerant SPECIFICATION(CHANNEL 1)R-404a
ITEMCoolant SPECIFICATION(CHANNEL 1)Galden, Fluorinert, ED+DI
ITEMWeight SPECIFICATION(CHANNEL 1)160kg
ITEMElcetric Power SPECIFICATION(CHANNEL 1)3Φ, 200/220v, 50/60㎐(Breaker 30A)
ITEMFacility Cooling Water SPECIFICATION(CHANNEL 1)20±2˚C, 10 LPM, 3kg/㎠

차이비교