본문 바로가기

장비 사업부

home > 장비사업부 > CHILLER > Direct Chiller > GPD3000Z
GPD3000Z
GPD3000Z는 Coolant를 사용하지 않고 냉매를 직접 메인 장비와 열 교환하는 방식의 Chiller
GPD3000Z
반도체, Display, LED 및 태양전지 공정 Main 장비 Chamber 주변부 온도를 안정적으로 조절하여 공정효율을 개선하는 장비

제품 특징

  • 냉매 습증기(잠열) 열 교환을 통한 Wafer 온도 균일화
  • Coolant Line 제거로 인한 전력량 감소(기존대비 50% 감소)
  • Coolant 미 사용으로 인한 운영비 절감
  • 조절부 근접설치를 통한 부하 응답성 개선 (FTT/LTT 개선)
  • Coolant 소모량 Zero로 Maintenance 간소화
  • 온도, 압력, Leak에 대한 각종 안전장치(Interlock) 적용

SPECIFICATION

ITEM SPECIFICATION(CHANNEL 1) SPECIFICATION(CHANNEL 2)
ITEMCooling Type SPECIFICATION(CHANNEL 1)Refrigerant Type SPECIFICATION(CHANNEL 2)Heat Exchanger
ITEMTemperature Range SPECIFICATION(CHANNEL 1)-20℃ ∼ +20℃ SPECIFICATION(CHANNEL 2)+30℃ ∼ +40℃
ITEMTemperature Stability SPECIFICATION(CHANNEL 1)±0.1 ℃ SPECIFICATION(CHANNEL 2)±0.1 ℃
ITEMCooling Capacity SPECIFICATION(CHANNEL 1)6,000W (at +0℃) SPECIFICATION(CHANNEL 2)3,000W (at +30℃)
ITEMDimensions ( mm ) SPECIFICATION(CHANNEL 1)480(W) x 960(D) x 1,600(H) SPECIFICATION(CHANNEL 2)480(W) x 960(D) x 1,600(H)
ITEMRefrigerant SPECIFICATION(CHANNEL 1)R-404a SPECIFICATION(CHANNEL 2)N/A
ITEMCoolant SPECIFICATION(CHANNEL 1)N/A SPECIFICATION(CHANNEL 2)Galden, Fluorinert
ITEMCommunication SPECIFICATION(CHANNEL 1)RS422, Dry Contact(TEL) SPECIFICATION(CHANNEL 2)RS422, Dry Contact(TEL)
ITEMVaccum Pump SPECIFICATION(CHANNEL 1)0.4 kW SPECIFICATION(CHANNEL 2)N/A
ITEMFlow Rate SPECIFICATION(CHANNEL 1)N/A SPECIFICATION(CHANNEL 2)Max.25 LPM
ITEMWeight SPECIFICATION(CHANNEL 1)280kg SPECIFICATION(CHANNEL 2)280kg
ITEMFacility Cooling Water SPECIFICATION(CHANNEL 1)20±2℃, 30LPM, 3kg/㎠ SPECIFICATION(CHANNEL 2)20±2℃, 30LPM, 3kg/㎠
ITEMElectric Power SPECIFICATION(CHANNEL 1)3Φ, 200/220V, 50/60Hz (Breaker 30A SPECIFICATION(CHANNEL 2)3Φ, 200/220V, 50/60Hz (Breaker 30A)