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장비 사업부

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CUBE2500
CUBE2500은 Chiller 최적 설계를 통한 장비 Size 축소로 직접 열 Main 장비와 근접 설치 가능한 냉매식 Chiller.
CUBE2500
반도체, Display, LED 및 태양전지 공정 Main 장비 Chamber 주변부 온도를 안정적으로 조절하여 공정효율을 개선하는 장비.

제품 특징

  • 근접 설치를 통한 부하 응답성 개선 (FTT/LTT 개선)
  • 부하가변 형 압축기, 펌프 적용을 통한 전력량 감소 (BLDC Type)
  • 최적 설계를 통한 장비 Size 축소
  • Brine 사용량 감소를 통한 운영비 절감
  • Cascade Control을 통한 온도안정화 강화
  • 온도, 압력, Leak에 대한 각종 안전장치(Interlock) 적용

SPECIFICATION

ITEM SPECIFICATION(CHANNEL 1)
ITEMCooling Type SPECIFICATION(CHANNEL 1)Refrigerant Type
ITEMTemperature Range SPECIFICATION(CHANNEL 1)-20˚C ~ +80˚C
ITEMTemperature Stability SPECIFICATION(CHANNEL 1)±0.1˚C
ITEMCooling Capacity SPECIFICATION(CHANNEL 1)6,000W(at +20˚C)
ITEMDimensions(mm) SPECIFICATION(CHANNEL 1)500(w)x500(D)x450(H)
ITEMCommunication SPECIFICATION(CHANNEL 1)User Option
ITEMFlow Rate SPECIFICATION(CHANNEL 1)20 LPM(at 0.5 Mpa)
ITEMRefrigerant SPECIFICATION(CHANNEL 1)R-404a
ITEMCoolant SPECIFICATION(CHANNEL 1)Galden, Fluorinert
ITEMWeight SPECIFICATION(CHANNEL 1)80kg
ITEMElcetric Power SPECIFICATION(CHANNEL 1)3Φ, 200/220v, 50/60㎐(Breaker 30A)
ITEMFacility Cooling Water SPECIFICATION(CHANNEL 1)20±2˚C, 10 LPM, 3kg/㎠

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