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장비 사업부

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P-TOM
P-TOM은 Chiller 최적 설계를 통한 장비 Size 축소로 Main 장비와 근접 설치 가능한 열 교환기식 Chiller
P-TOM
반도체, Display, LED 및 태양전지 공정 Main 장비 Chamber 주변부 온도를 안정적으로 조절하여 공정효율을 개선하는 장비

제품 특징

  • 근접 설치를 통한 부하 응답성 개선 (FTT/LTT 개선)
  • 부하가변 형 펌프 적용을 통한 전력량 감소 (BLDC Type)
  • 최적 설계를 통한 장비 Size 축소
  • Brine 사용량 및 PCW 사용량 저감 통한 운영비 절감
  • 기구부, 제어부 일체형 Concept
  • 온도, 압력, Leak에 대한 각종 안전장치(Interlock) 적용

SPECIFICATION

ITEM SPECIFICATION(CHANNEL 1)
ITEMCooling Type SPECIFICATION(CHANNEL 1)Heat Exchanger
ITEMTemperature Range SPECIFICATION(CHANNEL 1)+30℃ ∼ +90℃
ITEMTemperature Stability SPECIFICATION(CHANNEL 1)±0.1℃
ITEMCooling Capacity SPECIFICATION(CHANNEL 1)8,000W (at+50℃)
ITEMDimensions (mm) SPECIFICATION(CHANNEL 1)240(W) x 425(D) x 530(H)
ITEMCommunication SPECIFICATION(CHANNEL 1)User Option
ITEMFlow Rate SPECIFICATION(CHANNEL 1)20LPM (at 0.5 Mpa)
ITEMRefrigerant SPECIFICATION(CHANNEL 1)-
ITEMCoolant SPECIFICATION(CHANNEL 1)Galden, Fluorinert
ITEMWeight SPECIFICATION(CHANNEL 1)80 kg
ITEMElectric Power SPECIFICATION(CHANNEL 1)3Φ, 200/208V, 50/60Hz (Breaker 20A)
ITEMFacility Cooling Water SPECIFICATION(CHANNEL 1)20±2℃, 10LPM, 3kg/㎠

차이비교