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장비 사업부

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ARENS
Dry Type의 Resin Scrubber
  • ModelARENS
  • Gas 처리 방식Resin(약제)
  • 처리 용량200LPM
  • Dimension(Cabinet)870(W)X850(D)X1700(H)
ARENS
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • Resin을 이용한 효율적 Target Gas 흡착
  • CW 미사용(UT 절감)
  • Powder Trap 외부 분리형 구조

처리가능 GAS

  • Metal Etch : BCl3, Cl2, HCl, ETC
  • Implant : BF3, PH3, ETC