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장비 사업부

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W3000
반도체, LCD, LED 대응 Wet Scrubber
  • ModelW3000
  • Gas 처리 방식WET
  • 처리 용량1500LPM
  • Dimension(Cabinet)1000(W)X1230(D)X1600(H)
W3000
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • WET ZONE을 활용한 수용성 고효율 GAS처리
  • Exhaust 내부 Dry air : 결로방지
  • 저렴한 운영 비용

처리가능 GAS

  • 수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC