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장비 사업부

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UN2000A-DC
흡착식 Type의 건식 Scrubber
  • ModelUN2000A-DC
  • Gas 처리 방식흡착식
  • 처리 용량1500LPM
  • Dimension(Cabinet)850(W)X850(D)X1750(H)
UN2000A-DC
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • RESIN을 이용한 효과적인 분해효과
  • 효율적인 대용량 가스처리 가능

처리가능 GAS

  • Metal Etch : BCl3, Cl2, HCl, ETC
  • Implant : BF3, PH3, ETC