반도체, 디스플레이, 태양광 등 전자부품 제조공정에서 발생하는 가연성ㆍ부식성ㆍPFC가스 등 각종 유해 유독 가스를 처리하는 친환경 가스정화 장비로서 온실가스 배출을 최소화하는 기술과 ENERGY SAVING 기술을 융합하고 장비 유지보수시간ㆍ비용 최소화 설계기술을 적용하는 SMART EPS(Easy PM System)를 접목시켜 WORLD BEST SCRUBBER를 개발하고 있습니다.
반도체,디스플레이, 태양과 등 전자제품 제조공정에서 사용되는 메인설비 핵심 부품의 공정온도를 정밀하게 제어함으로써 수율향상과 에너지절감의 두 가지 목표를 동시에 달성할 수 있는 첨단 냉동ㆍ냉각기술을 선도하고 있습니다.