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장비 사업부

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TRITON
Pre-Wet Module을 적용하여 수용성 Gas와 Powder 전처리 효과를 통한 PM 주기를 극대화한 Model
  • ModelTRITON
  • Gas 처리 방식WET BURN WET
  • 처리 용량Max.500LPM
  • Dimension(Cabinet)900(W)X1050(D)X1850(H)
TRITON
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • Pre Wet System : 1차 수처리 PM 주기 연장
  • 공정 Step 별 Flame Mode : Energy Saving
  • 고속 Air Burner : 안정적 Flame 유지 및 저 NOX 배출
  • Scraper System : Powder 적체 방지

처리가능 GAS

  • 가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
  • 수용성 GAS : DCS, NH3, ETC