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장비 사업부
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> 장비사업부 > SCRUBBER > BURN TYPE > NECA4000
BURN TYPE
TRITON
UN2005A-PL/PLD
ECOBRID1000/2000
NECA4000
PLASMA TYPE
ATOM1000S
ATOM1000L
HEATER TYPE
UN2000A-BW
MAGMA1000
MAGMA3000
DRY TYPE
ARENS
ETC
W3000
UN2000A-DC
NECA4000
디스플레이 공정용 대용량 Burn-Box Type (No Water Consumption)
Model
NECA4000
Gas 처리 방식
BURN WET (Box Type)
처리 용량
Max.6000LPM
Dimension(Cabinet)
1800(W)X1300(D)X1800(H)
NECA4000
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비
제품 특징
대용량 처리가능 Capacity (MAX.6,000LPM)
가연성 & PFC Gas의 높은 처리 효율
UT 절감 : CW 미사용
Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 구조
처리가능 GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC