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장비 사업부

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VULCAN1000/2000
PFC Gas  및 수용성 Gas 처리가 가능한 Burn-Wet Scrubber
  • ModelVULCAN1000/2000
  • Gas 처리 방식Burn-Wet
  • 처리 용량Max 500LPM (Single 기준)
  • Dimension(Cabinet)900X800X1800 (VULCAN1000) / 1200X1000X1800 (VULCAN2000)
VULCAN1000/2000
반도체, LCD, OLED, solar Cell 등 생산 공정 중에 발생하는 Toxic Gas를 정화하여 배출하는 장비

제품 특징

  • Safety System : Various Sensors (Smoke Sensor, UV Sensor)
  • Easy Maintenance System : Easy Chamber Cleaning
  • Energy Saving : Flame Control사용 시 LNG & O2 절감 가능

처리가능 GAS

  • PFC Gas : NF3, SF6, CF4, C2F6, ETC.
  • 가연성 Gas : SiH4, DCS, TEOS, ETC.
  • 수용성 Gas : HCl, BCl3, HF계통, ETC.