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R&D
Our Future, We Change

연구내용

탄소중립 실현을 위해 친환경 에너지 분야

기술개발에 힘쓰고 있습니다.

차별화 된 기술력을 바탕으로 고객만족을 위해
끊임없이 노력할 것입니다.

탄소중립 실현 친환경 Scrubber

반도체, 디스플레이, 태양광 등 전자부품 제조공정에서 발생하는 가연성ㆍ부식성ㆍPFC가스 등 각종 유해 유독 가스를 처리하는 친환경 가스정화 장비로서 온실가스 배출을 최소화하는 기술과 ENERGY SAVING 기술을 융합하고 장비 유지보수시간ㆍ비용 최소화 설계기술을 적용하는 SMART EPS(Easy PM System)를 접목시켜 WORLD BEST SCRUBBER를 개발하고 있습니다.

Burn Type
TRITON / IGNIS / UN2005A-PL & PLD / ECOBRID1000 & 2000 / NECA4000
Plasma Type
ATOM 1000S / ATOM1000L
Heater Type
UN2000A-BW / MAGMA1000 / MAGMA3000
Dry Type
ARENS
Wet Type
W3000
탄소중립 실현 에너지 절감 Chiller

반도체, 디스플레이, 태양광 등 전자제품 제조공정에서 사용되는 메인설비 핵심 부품의 공정온도를 정밀하게 제어함으로써 수율향상과 에너지절감의 두 가지 목표를 동시에 달성할 수 있는 첨단 냉동ㆍ냉각기술을 선도하고 있습니다.

Hybrid Chiller
RPT7500C + HCS7500C
Refrigerant Chiller
RUCS30000Z(초저온) / RCS6000Z
Heat Exchanger Chiller
PCS150KUH + SECA150K(초고온) / PCS12000Z / PCS15000Z / PCD8000D(Built-in)