作为处理半导体、显示器、太阳能等电子零部件制造工程中产生的可燃性、腐蚀性、PFC气体等各种有害有毒气体的绿色气体净化设备，融合了减少温室气体排放的技术和ENERGY SAVING技术，并结合了采用设备维护时间、费用最小化设计的SMART EPS(Easy PM System)，正在开发WORLD BEST SCRUBBER。