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TRITON

Pre-Wet Module을 적용하여 수용성 Gas와 Powder 전처리
효과를 통한 PM 주기를 극대화한 Model

Gas 처리방식
WET BURN WET
처리용량
Max.500LPM
Dimension(Cabinet)
900(W)X1050(D)X1850(H)
제품특징
Pre Wet System : 1차 수처리 PM 주기 연장
공정 Step 별 Flame Mode : Energy Saving
고속 Air Burner : 안정적 Flame 유지 및 저 NOX 배출
Scraper System : Powder 적체 방지
처리가능 GAS
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
수용성 GAS : DCS, NH3, ETC
제품문의

IGNIS

대용량 CONCEPT으로 GAS 유입량이 많거나 고유량 H2,
처리가 가능 NOx 저감형 BURNER를 적용한 모델

Gas 처리방식
Burn-Wet
처리용량
Max, 300LPM
Dimension(Cabinet)
Single(mm)1100 *100*1900 / Dual(mm) 1900*1300*1918
제품특징
대용량 처리 가능 Capacity (UP TO 3000 LPM)
Dual System : 상호 연동을 통한 설비 Down-Time 감소
Easy Maintenance, Easy PM System
처리가능 GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
제품문의

UN2005A-PL & PLD

다량의 Gas 처리가 가능한 대용량 Burn-Wet Scrubber

Gas 처리방식
대용량 BURN WET
처리용량
Max.1500LPM(Single 기준)
Dimension(Cabinet)
1200(W)X1100(D)X1700(H)_UN2005A-PL /
1500(W)X1300(D)X1850(H)_UN2005A-PLD
제품특징
대용량 처리 가능 Capacity (UP TO 1,500 LPM)
Dual System : 상호 연동을 통한 설비 Down-Time 감소
Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 구조
처리가능 GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
제품문의

ECOBRID1000 & 2000

Nox, THC등 배출 저감 가능한 Nox Free Scrubber

Gas 처리방식
BURN WET
처리용량
Max.500LPM(Single 기준)
Dimension(Cabinet)
750(W)X850(D)X1800(H)_ECOBRID1000 /
1200(W)X1000(D)X1800(H)_ECOBRID2000
제품특징
저 NOX Burner : NOX, THC 배출 저감(NOX Free)
가연성 & 수용성 & PFC Gas의 높은 처리 효율
Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 구조
처리가능 GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
제품문의

NECA4000

디스플레이 공정용 대용량 Burn-Box Type
(No Water Consumption)

Gas 처리방식
BURN WET (Box Type)
처리용량
Max.6000LPM
Dimension(Cabinet)
1800(W)X1300(D)X1800(H)
제품특징
대용량 처리가능 Capacity (MAX.6,000LPM)
가연성 & PFC Gas의 높은 처리 효율
UT 절감 : CW 미사용
Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 구조
처리가능 GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
제품문의