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ARENS

Dry Type의 Resin Scrubber

Gas 처리방식
Resin(약제)
처리용량
200LPM
Dimension(Cabinet)
870(W)X850(D)X1700(H)
제품특징
Resin을 이용한 효율적 Target Gas 흡착
CW 미사용(UT 절감)
Powder Trap 외부 분리형 구조
처리가능 GAS
Metal Etch : BCl3, Cl2, HCl, ETC
Implant : BF3, PH3, ETC
제품문의