TOP

ATOM 1000

반도체 대응 Plasma-Wet Scrubber

Gas 처리방식
PLASMA WET
처리용량
300LPM
Dimension(Cabinet)
800(W)X800(D)X1720(H)
제품특징
고온 열평형 Plasma
PFC Gas의 높은 분해 효율(99%)
2차 열원(LNG, LPG 등)을 사용하지 않고 고온의 Plasma ARC를 이용한 PFCs GAS 처리 장치
처리가능 GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
제품문의