MAGMA3000
LED, LCD 대응 대용량 Heat-Wet Scrubber
- Gas 처리방식
- HEAT WET
- 처리용량
- 1500LPM
- Dimension(Cabinet)
- 1280(W)X1300(D)X1850(H)
- 제품특징
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디스플레이 CVD 공정에 적합한 대용량 처리장치
고온의 Heater를 사용하여 가연성 및 수용성 GAS 처리
Burn 또는 Plasma Type 대비 낮은 운전 비용
- 처리가능 GAS
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PFC GAS : NF3
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
수용성 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
제품문의