TOP
Burn Type
뒤로가기

TRITON

采用Pre-Wet Module，通过水溶性Gas与Powder前处理
效果使PM周期最大化的Model

GAS处理方式
WET BURN WET
处理容量
Max.500LPM
Dimension(Cabinet)
900(W)X1050(D)X1850(H)
产品特点
1次水处理 延长PM周期
每一工程阶段FlameMode: Energy Saving
高速AirBumer : Flame保持稳定及底NOX排出
Scraper System: Powder 防止积压
可处理GAS
可燃性 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
水溶性 GAS : DCS, NH3, ETC
产品咨询

IGNIS

大容量CONCEPT，GAS流入量多或固有量H2
可处理, 适用NOx低减型 BURNER的型号

GAS处理方式
Burn-Wet
处理容量
Max, 3000LPM
Dimension(Cabinet)
Single(mm)1100 *100*1900 / Dual(mm) 1900*1300*1918
产品特点
可进行大容量处理的Capacity (UP TO 3000 LPM)
Dual System:通过相互连接减少设备Down-Time
Easy Maintenance, Easy PM System
可处理GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
可燃性 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
水溶性 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
产品咨询

UN2005A-PL & PLD

可进行大量Gas处理的大容量Burn-Wet Scrubber

GAS处理方式
대용량 BURN WET
处理容量
Max.1500LPM(Single 기준)
Dimension(Cabinet)
1200(W)X1100(D)X1700(H)_UN2005A-PL /
1500(W)X1300(D)X1850(H)_UN2005A-PLD
产品特点
可进行大容量处理的Capacity (UP TO 1,500 LPM)
Dual System:通过相互联动减少设备Down-Time
Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 结构
可处理GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
可燃性 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
水溶性 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
产品咨询

ECOBRID1000 & 2000

Nox, THC等可减少排放的Nox Free Scrubber

GAS处理方式
BURN WET
处理容量
Max.500LPM(Single 기준)
Dimension(Cabinet)
750(W)X850(D)X1800(H)_ECOBRID1000 /
1200(W)X1000(D)X1800(H)_ECOBRID2000
产品特点
底NOX Burner:NOX, THC 减排(NOX Free)
可燃性 & 水溶性 & PFC Gas的高效率处理
Easy Maintenance, Easy PM, Cylinder 结构
可处理GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
可燃性 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
水溶性 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
产品咨询

NECA4000

显示工程用大容量Burn-Box Type
(No Water Consumption)

GAS处理方式
BURN WET (Box Type)
处理容量
Max.6000LPM
Dimension(Cabinet)
1800(W)X1300(D)X1800(H)
产品特点
可大容量处理的Capacity (MAX.6,000LPM)
可燃性 & PFC Gas的高效率处理
UT节约:CW未使用
可处理GAS
PFC GAS : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
가연성 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
产品咨询