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Dry Type
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ARENS

Dry Type的 Resin Scrubber

GAS处理方式
Resin(약제)
处理容量
200LPM
Dimension(Cabinet)
870(W)X850(D)X1700(H)
产品特点
利用Resin有效吸附Target Gas
CW未使用(UT节约)
Powder Trap外部分离型结构
可处理GAS
Metal Etch : BCl3, Cl2, HCl, ETC
Implant : BF3, PH3, ETC
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