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GAS处理方式
WET
处理容量
1500LPM
Dimension(Cabinet)
1000(W)X1230(D)X1600(H)
产品特点
利用WET ZONE的水溶性高效GAS处理
Exhaust 内部 Dry air : 防止结露
低廉的运营费用
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水溶性 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
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