MAGMA3000
LED，LCD应对大容量Heat-Wet Scrubber
- GAS处理方式
- HEAT WET
- 处理容量
- 1500LPM
- Dimension(Cabinet)
- 1280(W)X1300(D)X1850(H)
- 产品特点
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适合显示器CDVD工艺的大容量处理装置
使用高温的Heater可燃性及水溶性GAS处理
与Burn或Plasma Type相比较低的驾驶费用
- 可处理GAS
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PFC GAS : NF3
可燃性 GAS : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
水溶性 GAS : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
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